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这里的红外镀膜是指2.5μm(2500nm)-16μm红外区域的镀膜。
红外镀膜和近红外镀膜在材料选择和制造技术上有很大差异。
它们主要用于工业和医疗激光设备,如CO2激光器、Er:YAG激光器、CO和HF激光器。
高能CO2激光镀膜(10.6μm)
①
ZnSe/GaAs透镜
AR R<0.2%
注:锗使用低能量激光器
②
ZnSe/GaAs窗口
PR/HT 20%-98%/T>99%
注:锗使用低能量激光器
③
硅/铜衬底全反射镜
增强Au/Ag反射器
R> 99.5%
Er:YAG镀膜(2.94μm)
①
CaF2/蓝宝石晶体透镜
AR/AR R<0.2%
②
CaF2/蓝宝石水晶窗
PR/AR 20%-98%/R<0.2%
③
BK7/CaF2/蓝宝石衬底反射镜
小时R>99%
红外成像系统
①
硅透镜:AR/AR T>98%3.5-5μm
T> 60%7.5-11.5μm
注:无氧化物硅具有7.5-11.5μm的高吸收率,但材料非常便宜,因此可以使用红外成像系统代替Ge/ZnS/ZnSe材料。